晶圓代工產業積極推動「零廢棄」目標，打造循環經濟模式。台積電台中零廢製造中心於2023年11月正式營運，估計每年可減少環境成本15億元；聯電則預計於2024年啟用南科循環經濟資源創生中心，每年可創造1億元綠色經濟產值。這些設施的投入，將有效減少半導體製造過程中的廢棄物排放，並提高資源再利用率，為產業鏈建立更永續的運作模式。
台積電台中零廢製造中心與成信實業、長春石化及立盈環保科技合作，遵循「減廢最大量、環境效益最大化、管理風險最小化」的原則，設有氧化矽污泥、異丙醇、氟化鈣污泥及有機溶劑熱回收等四大區域，確保廢棄物不外流並能有效再利用。其中，氧化矽污泥區可將半導體研磨製程產生的廢水沉降後，透過還原技術製成矽碇或人造螢石，而異丙醇區則利用熱回收技術將廢異丙醇蒸餾去除雜質，精餾成電子級異丙醇，重新供應半導體產業使用。
透過這些循環經濟措施，台積電與聯電不僅提升資源利用效率，更推動台灣半導體產業向低碳永續發展邁進。隨著零廢棄技術的持續深化，未來半導體製造將更符合環保標準，帶動產業綠色轉型，實現更具競爭力的永續生產模式。（原文出處）
